激光刻蚀机的主要应用领域

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激光刻蚀机的主要应用领域

发布时间：2018-10-23 来源：元禄光电

激光刻蚀机是指利用高能量的激光光束照射材料表面，通过剥离基材表面的导电材料，形成线路或达到一定的阻值，从而达到刻蚀的目的。

激光刻蚀机的主要构成有激光器、XY直线工作台、驱动器、工控机、高速振镜、聚焦透镜、系统控制软件、定位系统、抽尘系统、真吸附空系统、外光路、机台等，能够有效满足大尺寸与高精度拼接加工的需求。根据不同的加工需求，组合配置光学及运动控制系统，以元禄光电为例，可采用纳秒级别红外光纤（包括可调脉宽激光器）、515/532nm绿光激光器、355nm紫外激光器，也可采用超短脉冲皮秒或飞秒激光设备进行加工。标准配置600*600mm有效加工幅面，最大可做到3200*2400mm加工幅面，可满足触摸屏、光伏太阳能电池、以及其他导电薄膜或导电玻璃材料的刻蚀加工。

根据元禄光电的激光刻蚀设备的工艺经验，以激光器的类型分类为向导，为大家带来常见的激光刻蚀机主要应用领域介绍。

纳秒红外光纤激光刻蚀机

采用普通脉冲式光纤激光刻蚀机或可调脉宽光纤激光刻蚀机，对镀膜玻璃、薄膜表面FTO、ITO、银奖、铝、铜、钼铝钼、锡合金、镍合金、镀金玻璃等材料进行超精细刻蚀。

在光伏太阳能电池行业，对激光刻蚀机的工艺要求通常能够有限满足加工效率要求以及保证隔断对材料的导通性，无残留、无短路现象，对线宽的要求不高，保证在0.1mm以下的线宽就可以，因而部分材料的蚀刻可以选择成本更加低廉的Q开关光纤激光刻蚀机。

这类型的激光刻蚀机通常用于光伏太阳能电池激光划线，以及P1刻蚀，如钙钛矿电池的P1层FTO刻蚀；也可用于触摸屏行业ITO、银奖蚀刻，包括ITO玻璃、银奖薄膜等。而在一些特殊领域，如汽车后视镜，红外激光刻蚀机同样有非凡的表现，能够有限的实现铝薄膜刻蚀，同时不伤及基材。

激光刻蚀FTO样例

激光刻蚀铝薄膜样例

激光刻蚀银奖样例

激光刻蚀ITO样例

纳秒绿光激光刻蚀机

相比较于红外光纤激光刻蚀机，此类型激光器的激光刻蚀应用主要体现在太阳能光伏领域，尤其是对PERC电池的应用较为广泛，特别适用于P1/P2/P3划线等。相比较于光纤激光刻蚀机，刻蚀的线条更加精细，适合对P2、P3层的刻蚀。元禄光电总结的经验看，从背面利用绿光对P1层FTO或ITO刻蚀更加干净、线条更细，并且对玻璃基材无损伤。

纳秒紫外激光刻蚀机

紫外激光刻蚀机的主要适用领域是电子行业，如传感器蚀刻，通常也可用于激光调阻，常见的有铜薄膜刻蚀。紫外激光刻蚀机的优势在于刻蚀的线条更加精细，同时不伤及薄膜，能够有效保证导通性及阻值的要求，并能根据需求随时进行调整。