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发布时间:2019-03-27 点击量:1718
想要在ito导电玻璃上做超细线宽刻蚀,请问激光刻蚀最小线宽可以做多大?
管理员回复:一般需要根据导电玻璃上镀层的ito厚度有一定的影响,刻蚀线宽的主要影响因素在于激光的波长、激光器的脉宽等因素。
目前市面上(2019年)主要对ito导电玻璃激光刻蚀波长分为1064nm红外激光以及532nm绿光激光,又分为纳秒激光、皮秒激光以及飞秒激光。
目前来说最小线宽在5-10微米,最大线宽无限制,可去除一整个面的ito材料,通常来说20-30微米线宽较为普遍,设备价格也相对便宜,要做到10微米线宽则需要用到超快激光器,如皮秒或飞秒激光,目前元禄光电采用飞秒激光刻蚀机可加工出小于10微米线宽ito导电玻璃。
管理员 Asked question 2019-03-27
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