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发布时间:2019-04-04 点击量:5408
采用1064纳米激光激光刻蚀机对FTO、ITO导电膜进行线路蚀刻,发现了FTO、ITO存在蚀刻不断的现象,出现点状现象,请问如何处理?
管理员回复:通常情况下激光刻蚀FTO或ITO刻不断有三点愿意需要去做调整:
1.检查薄膜或玻璃材料是否平整,如果检测平整性高,需要重新校正平台、振镜的精度;
2.检查激光器的频率、脉宽设置,可通过加大频率、降低脉宽来调整;
3.检查振镜扫描速度设置,是否开的过快,可降低振镜扫描速度配合激光器的频率、脉宽设置问题来做。
另外还可以通过扫描多次的方式来检测是否同一个位置可不短呈现点状,还是其他位置也有这种情况,可以判断出是否不平整或振镜有问题,还可以设置出光延迟等等问题去解决,如果机器时间过长,还要考虑机器功率衰减的问题,可以通过加大功率来做测试。
管理员 Asked question 2019-05-22
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