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发布时间:2020-04-13 点击量:4392
激光刻蚀ITO有残留如何处理?
管理员回复:激光刻蚀ITO、FTO、氧化镍等透明导电氧化物有残留的原因大体上分为两种。一种是因为选用的激光波长或激光工作模式不对以及设置工艺参数不对造成的技术层面残留;第二种是由于刻蚀线宽太窄,激光加工后的烟雾残留,未能清除干净造成二次污染形成。
第一种解决方案是重新调整技术参数,如果是硬件原因造成,建议增大刻蚀的线宽观察是否仍有残留,可通过改变硬件条件改善。第二种解决方案是增加吹气及抽尘装置,部分厂家售卖机器并未考虑到这个因素,元禄光电根据公司产品经验推荐使用烟雾净化装置,尤其是在北方冬天,需要注意防范,另外某些特殊场合下还需要增加等离子风作为吹气设施,保证加工过程中不会因为空气中的水分子造成产品寿命的降低,造成产品材料降解、分解等,如钙钛矿电池。
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管理员 Asked question 2020-04-14
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