激光刻蚀设备在钙钛矿电池中的应用

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激光刻蚀设备在钙钛矿电池中的应用

发布时间：2018-06-14 来源：元禄光电

清洁能源一直以来都是国民关注的热点，利用光能的研究各个国家备受的关注，而作为清洁能源中的光伏太阳能行业发展势头迅猛，截止2015年底，全球太阳能发电装机累计达到2．3亿千瓦，其技术发展也不断在提升，为提升在光电转换效率而不懈努力。在光伏太阳能电池行业里钙钛矿电池22.1%的光电效率势必会引起新一轮的爆发，对钙钛矿电池的激光刻蚀工艺也将会成为新一轮的爆发。

钙钛矿电池的基层是玻璃，上面度有FTO，双层氧化物和碳粉，需要采用激光技术对上面三层材料进行剥离刻蚀，并且不伤及FTO。

钙钛矿电池

传统的红外光纤激光刻蚀技术和绿光激光刻蚀技术对其进行P1，P2，P3划线，而钙钛矿电池中存在的问题是FTO对光纤激光或者绿光的吸收比较好，如果想要完全不伤及FTO则无法有效的将双层氧化物蚀刻掉，或者是造成残留无法达到阻值要求。如果满足对上面三层物质的去处并形成电阻值则会对FTO造成损伤，影响光电转换效率。因而在钙钛矿电池激光刻蚀上必须寻求新的工艺解决方案。

新的工艺解决方案里就要求材料对光的吸收要好，并且能够控制加工的热影响，不会形成熔渣造成阻塞，保证刻蚀的线宽形成有效的阻值。元禄光电为了解决这种钙钛矿电池划线的需求，采用了飞秒激光设备对其进行激光刻蚀。优点在于加工时间短，接触时间短，热影响小，带脉冲能量高，能够瞬间刻蚀掉材料，并且不会对基层FTO造成损伤，能够满足钙钛矿电池激光刻蚀的要求。

钙钛矿电池目前成为光伏行业内的新宠，但大多也都停留在研发实验室阶段，想要走出实验室走向市场化的路也不会远。而在批量生产加工也势必离不开激光设备。