ITO玻璃激光刻蚀机的最小线宽是多少？

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ITO玻璃激光刻蚀机的最小线宽是多少？

发布时间：2018-07-12 来源：元禄光电

ITO导电玻璃常用语触摸屏行业以及光伏太阳能行业中，是一种重要的透明导电氧化物。在作为成品之前需要对其进行刻蚀，最终形成导电线路，作用到显示行业或者是光伏行业。

ITO导电玻璃的刻蚀加工有两种工艺方式，一种是化学刻蚀法，也称之为湿法刻蚀；另一种是激光刻蚀法，也称之为干法刻蚀。化学刻蚀的缺点在于对环境的污染，线宽无非满足越来越精细的要求，有点是效率高，初次投入成本低。激光刻蚀的优点在于无耗材、无污染，通过高能量光束照射ITO玻璃，实现对ITO的汽化，形成线路图，优点在于可加工非常精细的线宽，精度高。

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ITO激光刻蚀机

随着应用行业的发展，对加工技术的要求也不断的提升，加工ITO导电图的线宽、间隔都有了更高的要求。在与客户沟通过程中常常会遇到的问题是，ITO激光刻蚀机能不能做到20微米以下的线宽，加工的间隔能不能做到20微米，答案是肯定的，那么究竟ITO激光刻蚀机能做多小的线宽呢？

ITO线宽的粗细是根据激光器以及光学器件决定的，总体来说在于聚焦的光斑大小以及光源对材料的热影响。波长越短、能量越低、脉宽越窄、扩束镜倍数越高、场镜负面越小，聚焦的光斑越小，能够做出来的线宽也就越细，当然以上提到的几个参数都是有一个极限值的，如扩束镜的倍数越高，它的能量密度越差，也不利于加工。能量过低无非对ITO表面形成汽化，不能满足加工需求也不行。因而我们需要取一个范围值，去适用客户的加工需求。

另外不同的材料，在采用同样的激光刻蚀机，做出来的线宽不一样，比如镍合金材料的刻蚀线宽要比ITO材料的线宽要粗，这取决于材料本身对激光波长的吸收影响。本文暂不做解析，主要以ITO导电玻璃为参考材料。

目前元禄光电的工艺技术在ITO导电玻璃上做到的最小线宽是5微米，采用的是皮秒激光器，小透镜的方式。而普遍的ITO玻璃在触摸屏行业中的要求是在20-微米之间，这采用的是窄脉宽的红外纳秒激光器。不同的行业需求，对ITO线宽的要求不一样，有的行业中对ITO线宽的阻值有比较高的要求，而光伏行业有部分则是要求保证刻断、绝缘即可。

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