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激光刻蚀机适用于PET薄膜和Glass玻璃基底上的导电材料进行高速激光刻蚀、剥离。适用于氧化铟锡（ITO），银浆（Ag）等涂层材料的触摸屏行业超细线宽、超高速度激光蚀刻。
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135-4505-0045邮 箱：wf@whlasers.com
传 真：027-63496399
设备适用于PET薄膜和Glass玻璃基底上的导电材料进行高速激光刻蚀、剥离。
适用材料
玻璃/薄膜表面氧化铟锡（ITO），银浆（Ag）、碳纳米管（CNT）、石墨烯、纳米银、钼铝钼、铜、高分子导电膜、铝薄膜、PERC、钙钛矿电池、FTO、TCO、碳粉等涂层材料的超细线宽激光蚀刻。
应用行业
1.手机、车载、平板、智能穿戴，点餐机等触控屏GF，GFF，OGS。
2.车载触控屏体的OGS上导电膜层的刻蚀。
3.薄膜太阳能电池、钙钛矿电池等光伏行业。
4.新兴能源行业，如电致色调光玻璃等。
5.发光玻璃、户外显示玻璃、显示柔性薄膜等。
6.其他显示屏。
产品特点
1.激光蚀刻为干式蚀刻，加工制程简单，所有加工均由软件自动控制，产品一致性高，良率高达99%，无耗材，环保，可靠稳定。
2.CCD相机自动定位，加工精度高。
3.设备操作简单，图档更新方便，制程缩短，稼动率高。
4.设备控制软件能够实现自动图档分割，移动拼接加工，拼接精度可达±3μm
5.耗电量省，操作人员少，无污染，生产成本低。
技术参数/Specification
激光器 | 光纤激光器 | 绿光激光器 | 紫外激光器 |
激光波长 | 1064nm | 532nm | 355nm |
激光功率 | 20W | 10W | 10W |
脉冲宽度 | 纳秒、飞秒、皮秒可选 | 纳秒、皮秒可选 | 纳秒、皮秒可选 |
最小聚焦光斑 | ＜10μm（视材料与激光器类型、脉宽而定） | ||
最小刻蚀线宽 | ＜10μm（视材料与激光器类型、脉宽而定） | ||
刻蚀速度 | ＜4000mm/s | ||
加工范围 | 600mmX600mm（标准尺寸，可根据客户要求定制） | ||
单次最大幅面 | 110mmX110mm (标准配置，根据需求可选配) | ||
CCD自动定位精度 | ±3μm | ||
直线电机工作台定位精度 | ±2μm | ||
直线电机工作台重复精度 | ±1um | ||
设备尺寸 | 1650mmL×1300mmW×1670mmH | ||
设备重量 | 1800kg | ||
可处理文件格式 | 标准Gerber文件，DXF文件，PLT文件等 | ||
元禄光电已开发出小型FTO、ITO激光刻蚀设备，可用于前期实验阶段加工，欢迎电话咨询了解。
激光刻蚀样品
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