氧化锌、ITO、FTO激光刻蚀机-激光蚀刻机

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氧化锌、ITO、FTO激光刻蚀机

氧化锌、ITO、FTO激光划线机

窄脉宽红外纳秒激光刻蚀机，适用于FTO、ITO、氧化锌镀层玻璃、薄膜激光刻蚀。设备标准尺寸600*600mm、600*1200mm，可以满足10*10mm到300*300mm内的加工需求。

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采用窄脉宽红外纳秒激光器，适用于FTO、ITO、氧化锌镀层玻璃、薄膜激光刻蚀。设备标准尺寸600*600mm、600*1200mm（同时预留出小面积300*300mm内的小幅面加工需求）。可以满足10*10mm到300*300mm内的加工需求。

设备简介

设备采用固体激光器，激光波长1064nm，适合对导电玻璃、薄膜进行精细激光刻蚀；采用自主研发的控制软件、直接导入CAD 数据进行激光刻蚀，操作简单，方便快捷；采用通过软件实时调节振镜与直线电机、电动升降工作台的设计，加上真空吸附托盘装置，能有效地解决激光刻蚀加工运行中的平稳性；采用独特除尘系统设计，能保证玻璃、薄膜与工作平面的清洁。

设备集数控技术、激光技术、软件技术等光机电高技术于一体，具有高灵活性、高精度、高速度等先进制造技术的特征。可大范围内进行各种图案，各种尺寸的精密、高速刻蚀，并且能够保证很高的产能，是一个可靠、稳定和具有高性能价格比的产品。

适用材料

玻璃、PET基底上薄膜激光刻蚀，触摸屏、光伏太阳能电池、电至色玻璃、其它显示屏。可用于导电银浆、ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、碳粉、金、银等导电金属、氧化物材料处理（只能针对单层材料激光刻蚀）。

整体说明

主要构成：激光器、光路系统、工作台、控制系统、定位系统、抽尘系统、真吸附空系统等。

主要技术参数

型号	ET650-NF 氧化锌、ITO、FTO激光刻蚀机
激光器	窄脉宽红外纳秒激光器，波长1064nm
加工幅面	600600mm/1200600mm（可定制）
聚焦光斑	≥20μm
激光器频率调节范围	100K-500KHz
刻蚀最小线宽	≥20 um（最大可以去除95%以上的氧化物镀层）
整机精度	±20μm
最小线间距	≥20μm
工作台定位精度	±2um
工作台重复精度	±1um
CCD自动定位精度	±2um
刻蚀速度	＜4000mm/s
设备尺寸	1650mmL×1500mmW×1750mmH
设备重量	1800kg
功率消耗	＜3000W
可处理文件格式	标准CAD DXF文件