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氧化锌、ITO、FTO激光刻蚀机

氧化锌、ITO、FTO激光划线机

窄脉宽红外纳秒激光刻蚀机,适用于FTO、ITO、氧化锌镀层玻璃、薄膜激光刻蚀。设备标准尺寸600*600mm、600*1200mm,可以满足10*10mm到300*300mm内的加工需求。

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采用窄脉宽红外纳秒激光器,适用于FTOITO、氧化锌镀层玻璃、薄膜激光刻蚀。设备标准尺寸600*600mm600*1200mm(同时预留出小面积300*300mm内的小幅面加工需求)。可以满足10*10mm300*300mm内的加工需求。

 

设备简介

设备采用固体激光器,激光波长1064nm,适合对导电玻璃、薄膜进行精细激光刻蚀;采用自主研发的控制软件、直接导入CAD 数据进行激光刻蚀,操作简单,方便快捷;采用通过软件实时调节振镜与直线电机、电动升降工作台的设计,加上真空吸附托盘装置,能有效地解决激光刻蚀加工运行中的平稳性;采用独特除尘系统设计,能保证玻璃、薄膜与工作平面的清洁。

 

设备集数控技术、激光技术、软件技术等光机电高技术于一体,具有高灵活性、高精度、高速度等先进制造技术的特征。可大范围内进行各种图案,各种尺寸的精密、高速刻蚀,并且能够保证很高的产能,是一个可靠、稳定和具有高性能价格比的产品。

 

适用材料

玻璃、PET基底上薄膜激光刻蚀,触摸屏、光伏太阳能电池、电至色玻璃、其它显示屏。可用于导电银浆、ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、碳粉、金、银等导电金属、氧化物材料处理(只能针对单层材料激光刻蚀)。

 

整体说明

主要构成:激光器、光路系统、工作台、控制系统、 定位系统、 抽尘系统、 真吸附空系统等。

 

主要技术参数

型号

ET650-NF    氧化锌、ITOFTO激光刻蚀机

激光器

窄脉宽红外纳秒激光器,波长1064nm

加工幅面

600*600mm/1200*600mm(可定制)

聚焦光斑

20μm

激光器频率调节范围

100K-500KHz

刻蚀最小线宽

≥20 um(最大可以去除95%以上的氧化物镀层)

整机精度

±20μm

最小线间距

20μm

工作台定位精度

±2um

工作台重复精度

±1um

CCD自动定位精度

±2um

刻蚀速度

4000mm/s

设备尺寸

1650mmL×1500mmW×1750mmH

设备重量

1800kg

功率消耗

3000W

可处理文件格式

标准CAD DXF文件

注:根据实验室前期实验性阶段需要,武汉元禄光电针对性开发出了实验室阶段小型激光刻蚀机,适用于100*100mm以下导电玻璃激光刻蚀、划线应用,欢迎前来咨询了解。


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