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满足刚性玻璃基底表面的薄膜类太阳能电池刻蚀，采用四台设备分别对应不同薄膜电池不同功能层刻蚀需求。P1采用纳秒红外刻蚀TCO，P2采用皮秒紫外或绿光刻蚀功能层，P3采用皮秒紫外或绿光刻蚀背电极，P4采用高功率纳秒红外做清边。
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基本功能
满足刚性玻璃基底表面的薄膜类太阳能电池刻蚀，采用四台设备分别对应不同薄膜电池不同功能层刻蚀需求。P1采用纳秒红外刻蚀TCO，P2采用皮秒紫外或绿光刻蚀功能层，P3采用皮秒紫外或绿光刻蚀背电极，P4采用高功率纳秒红外做清边。
特别注明：柔性基底中试线元禄光电开发中，可电话详细咨询联系！
产能高：可配备多路光束加工（可配单路），单机产能可达100MW;
精度高：采用高精度CCD定位，定位精度±15um；
可靠度高：采用特有结构，设备稳定性高；
适应性强：每一台设备既可离线（前后需加一段接驳台），又可在线使用，适应不同客户的需求；
性能参数
参数 | P1红外激光刻蚀机 | P2皮秒激光刻蚀机 | P3皮秒激光刻蚀机 | P4红外激光刻蚀机 | |||
激光波长 | 1064/532/355nm | 355/532 nm | 355/532nm | 1064nm | |||
功率 | 30W MOPA | 15-60W | 15-60W | 100W MOPA | |||
加工头数 | 单头/6头/12头 | 单头/6头/12头 | 单头/6头/12头 | 单头/双头 | |||
电池片尺寸 | 300*400/500*500/600*600/600*900/600*1200mm | ||||||
电机定位精度 | ±5um | ||||||
电机最高速度 | 1m/s | ||||||
最小刻蚀线宽 | 30um | 30um | 30um | 1-20mm | |||
最小公差 | ±5um | ±5um | ±5um | ±100um | |||
最小线间距 | 30um | 30um | 30um | / | |||
热效应区 | 5um | 5um | 5um | 50um | |||
CCD定位精度 | ±10um | ±10um | ±10um | ±10um | |||
直线度 | ±20μm | ±20μm | ±20μm | ±20μm | |||
除尘率 | ≥99% | ≥99% | ≥99% | ≥99% | |||
输送带速度 | 20m/min（速度可调，会对节拍造成影响） | ||||||
进出料高度 | 900±20mm | ||||||
P3金电极激光刻蚀
P1 TCO FTO激光刻蚀
P1 TCO ITO激光刻蚀
钙钛矿刻蚀
P2钙钛矿激光刻蚀2
P2氧化锆氧化钛刻蚀
P2氧化锡钙钛矿刻蚀
p3碳粉激光刻蚀
P3铜电极激光刻蚀
P3铜电极激光刻蚀2
P3银电极激光刻蚀
TCO刻蚀
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