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大幅面钙钛矿高速激光刻蚀设备

20振镜头1200mm×2400mm钙钛矿高速激光刻蚀成套设备

该设备为全球首台“20振镜头1200mm×2400mm钙钛矿高速激光刻蚀成套设备”,由元禄光电和华中科技大学共同研发,不仅在国内国际首开先河,更以行业领航者的姿态,引领技术潮流。作为国内外首发的创新之作,此套设备是目前市场上极少数能够生产超大尺寸1200*2400mm组件的钙钛矿太阳能电池激光刻蚀设备。

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设备介绍


该设备为全球首台“20振镜头1200mm×2400mm钙钛矿高速激光刻蚀成套设备”,由元禄光电和华中科技大学共同研发不仅在国内国际首开先河,更以行业领航者的姿态,引领技术潮流。作为国内外首发的创新之作,此套设备是目前市场上极少数能够生产超大尺寸1200*2400mm组件的钙钛矿太阳能电池激光刻蚀设备。


高效率:单设备20路光束,加工时间30s,实现更高产能;


高精度:采用高精度相机及软件算法实现高精度划线的精准控制,整体精度10um;


高可靠:采用独特的机械设计理念,平台动,膜面划,实现设备高稳定性;



设备特点


① 20个振镜头同时加工;20套激光部分光程一致,光束质量好;单路激光可调,确保光路稳定性;振镜加工,子电池宽度任意可调;振镜聚焦加工,焦深更大,工艺窗口更大


② 整片产品真空吸附,确保产品平面度;平台单方向动一次,避免产品来回跑动导致错位;直线电机配合高精度光栅尺,对比气浮平台,环境适应性更好,稳定性更高;平台运动速度配合振镜扫描速度,加工时间更短,速度更快。


③ 功率计定期自检功率;3套旁轴视觉同时进行振镜校正;3套定位相机进行MARK点检测;产品归正,划线直线度修正,确保最小死区面积;20振镜头拼接精度<10um,死区<250um


设备参数


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元禄光电凭借自身在钙钛矿光伏行业多年积累的激光技术与精密装备技术优势,以及一流的人才团队,研发打造了先进的大幅面钙钛矿高速激光刻蚀成套设备,布局了多项发明和新型实用技术专利。以丰富的行业经验、创新的技术手段、沉淀的研发实力为钙钛矿GW级产线生产保驾护航!

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