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发布时间：2019-09-19 来源：元禄光电
ITO是一种N型的氧化物半导体，中文名为氧化铟锡，因为其导电性、透光率较好常用于玻璃或柔性材PET基材上的导电氧化物，用于触摸屏、光伏、冷光片、传感器、电致色玻璃、发光玻璃等行业。通常情况下利用平面磁控技术在玻璃或柔性PET等材料上溅射ITO材料，并通过高温退火处理得到ITO镀膜玻璃或薄膜材料。
ITO导电玻璃
而ITO镀膜玻璃或薄膜原材料由于是一整块都是ITO材料，应用到触控面板、显示面板、太阳能电池、微电子、光电子等领域中就需要对其进行加工，形成特定线路图，而对ITO材料的初加工工艺成了关键环节。
ITO镀膜玻璃或薄膜的材料线路成型加工主要有黄光曝光、化学蚀刻、等离子蚀刻以及激光刻蚀设备。
黄光曝光加工效果好，速度快，缺点是需要用到掩膜版，ITO线路要求有的多达数千种，每一种都需要掩膜版，这对设计加工的成本太高，就是存储也会浪费大量的空间，因此黄光曝光工艺目前只保留在特殊要求领域中使用。
黄光曝光设备（图片源自网络）
化学蚀刻加工速度高，效果好，缺点是大量的化学试剂对人体和环境会造成污染，特别是在当今社会中人与自然的协调愈加重要，环境问题已加以限制，并控制在一定范围内。当然化学蚀刻也有技术工艺缺点随着下游产品对ITO镀膜材料的要求越来越高，超细线宽的ITO材料化学蚀刻工艺已感到力不从心。
化学刻蚀设备（图片源自网络）
等离子蚀刻效果和速度都非常理想，不过工艺流程较为复杂，洒家也不太明白具体的工艺流程，想想晶圆的制作流程，想来大家也知道了其复杂程度。不过相比较于ITO镀膜材料的加工，等离子蚀刻设备还是小儿科了，很容易实现，也有简易版的适用于ITO材料，相比较而言等离子刻蚀的成本相对较高。
等离子刻蚀设备（图片源自网络）
激光刻蚀设备是目前的主流ITO刻蚀工艺，适用于柔性pet以及玻璃上的导电ITO激光刻蚀，优点是工艺流程简单，导入CAD图纸即可相机自动定位加工，一次性成型，对环境无污染，无掩膜版，只用消耗电力，并且易于自动化，加工尺寸可超过3m以上，优势显而易见。目前ITO材料刻蚀的线宽要求越来越高，传统的纳秒红外激光刻蚀机的最小线宽只能做到20微米，而随着激光技术的进步，ITO材料刻蚀最小线宽可做到10微米以下，可保持与ITO材料应用行业需求的发展同步。
ITO激光刻蚀设备
ITO镀膜玻璃、薄膜刻蚀工艺是太阳能电池、触摸屏、光电子等行业领域中重要工艺环节，要保证生产效率、生产成本、环境保护，ITO激光刻蚀机必不可少，武汉元禄光电专业生产激光刻蚀设备，拥有丰富的经验、过硬的技术，欢迎大家前来洽谈了解。
推荐设备：导电玻璃激光刻蚀机
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