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影响紫外激光切割机(纳秒)精度因素

发布时间:2018-07-04 来源:元禄光电

紫外激光切割机(通常是指采用紫外纳秒激光器集成的激光设备)称之为冷激光微精密加工系统。其工作原理是通过355nm激光波长激光照射到材料表面,破坏材料的分子间形成切割、刻蚀、打标等。常用于微精密激光加工系统中,如PCB激光切割、分板,FPC激光切割,摄像头模组激光切割,指纹识别芯片激光切割,硅片激光切割,陶瓷激光切割,超薄金属材料激光切割,PET/PI薄膜激光切割等。

 

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超薄铜箔激光切割样例

 

紫外激光微精密加工系统的优势在于热影响区域小,光斑小,光束质量高,加工质量高、精度高,根据其配置不同,其精度差异化非常大。本文列举核心配件对于紫外激光精密微加工系统的精度影响:

 

激光器:激光器是紫外精密微加工系统中最核心器件,直接影响着激光加工的精度,光般大小、光束质量、重复频率、光斑圆度、脉冲宽度直接影响着激光输出的精度,每种激光器的功率参数不同,且每个公司的参考参数都不同,对应的精度差异大。作为切割机而言,相比较来说一般采用的是7W以上的大功率紫外激光器,而在这方面恰恰是国内激光器厂家比较薄弱之处。目前比较优质的紫外激光器(都是进口)美国光谱物理、德国通快、美国相干、美国普爱、美国光波等。

 

振镜:振镜为激光器外光路系统中的重要核心器件,振镜好坏体现在速度、光斑圆度、光斑偏转精度等因素,同样作为紫外激光切割机而言,几乎90%的振镜源于进口,这类的典型厂商有德国SCANLAB、德国RAYLASE、美国CTI等。国产振镜跟激光器一样还有很大的差距。

 

场镜:场镜也称为透镜,场镜的扫描范围直接影响的是光斑的精度,光板的大小决定了在加工材料过程中的热影响区域,比方说在玻璃镀层上刻蚀,单次划线的精度从5-20微米不等,其主要因素决定于场镜的大小,通常情况下作为切割用的透镜范围在30-40mm之间,而想要在玻璃镀层上更小的线宽,则需要6-15mm的透镜。透镜越小,光斑越小,对应能做到的热影响更小,精度更高。小的透镜价格非常高,几乎也都是进口,主要供应商有SILL、业纳等。

 

直线电机:直线电机影响的是拼接精度,一般加工的材料最大幅面都会比透镜的扫描范围要大,因此都会采用相机识别,通过直线电机移动拼接,好的直线电机拼接精度可以做到1μm。对于一些没有拼接精度要求,只是需要光斑精度的材料可以考虑采用伺服电机,能够节省很大一部分成本费用。

 

软件控制系统:软件控制系统影响着整机的重复精度,需要通过软件控制不停的校正来保证整机精度。每个公司都有自己定制的软件控制系统,差异化不大,各有个的特点,相比较而言,软件往往也是容易让人忽视的一部分。

 

其他也有一部分因素影响着加工的精度,如使用环境的其他外在因素,设备本身影响加工精度的几大因素也均为几个核心器件,因而通常情况下采用的核心器件几乎均是进口,这也是为何每个厂家的价格差异化的主要原因。


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